氣相沉(chen)(chen)積(ji)按形(xing)成(cheng)的基本原理(li)，分為化(hua)學氣相沉(chen)(chen)積(ji)（CVD）和物(wu)理(li)氣相沉(chen)(chen)積(ji)（PVD）。氣相沉(chen)(chen)積(ji)是在工件表(biao)面覆蓋一層厚度為0.5～10μm的過渡族元素（Ti、V、Cr、W、Nb等(deng)）與C、N、O、B等(deng)形(xing)成(cheng)的化(hua)合物(wu)，或單一的金(jin)屬及(ji)非金(jin)屬涂層，使零(ling)件表(biao)層改變(bian)化(hua)學成(cheng)分，并在其表(biao)面形(xing)成(cheng)功能性（例如(ru)超硬耐磨層）或裝飾性的化(hua)合物(wu)涂層的新技術，現(xian)已廣(guang)泛應用于各類零(ling)件的硬化(hua)處(chu)理(li)。沉(chen)(chen)積(ji)層的主(zhu)要類別及(ji)特性見表(biao)3-38。
主要應用的沉積層(ceng)TiC、TiN涂層(ceng)有(you)以下(xia)特點：
a. 涂層有很高(gao)的硬度（TiC：2980～3800HV，TiN：2400HV）、低的摩擦因數和自潤(run)滑性能，所以(yi)抗(kang)磨粒(li)磨損性能良好。
b. 涂層具有很(hen)(hen)高(gao)的熔點（TiC：3800℃，TiN：2950℃），化學穩(wen)定性好(hao)(hao)，基(ji)體金屬(shu)在(zai)涂層中的溶解度小，摩擦因(yin)數較低，因(yin)而具有很(hen)(hen)高(gao)的抗粘著(zhu)磨損能力(li)，使(shi)用(yong)中發生(sheng)冷焊(han)和咬(yao)合的傾向(xiang)也很(hen)(hen)小，而且TiN比(bi)TiC更(geng)好(hao)(hao)。
c. 涂(tu)層有較強(qiang)的耐(nai)蝕(shi)性(xing)，TiC涂(tu)層在硫酸(suan)、鹽酸(suan)、氯化鈉(na)水溶液中的耐(nai)蝕(shi)性(xing)良好(hao)，而且TiN的耐(nai)蝕(shi)性(xing)一般都比(bi)TiC更(geng)好(hao)一些。
d. 涂層在高溫下也具有良好的抗大氣氧化能力（TiC大約可達400℃，TiN大約可達500℃），高于以上溫度，在空氣中的TiC、TiN將被氧化成TiO2而失去其原來的性能。
