表面氣相沉積強化工藝技術特點
氣(qi)(qi)相(xiang)沉(chen)積(ji)按(an)形成(cheng)的(de)基(ji)本原(yuan)理,分為化(hua)學(xue)氣(qi)(qi)相(xiang)沉(chen)積(ji)(CVD)和(he)物理氣(qi)(qi)相(xiang)沉(chen)積(ji)(PVD)。氣(qi)(qi)相(xiang)沉(chen)積(ji)是在(zai)工件(jian)表(biao)面(mian)覆蓋一層(ceng)厚(hou)度為0.5~10μm的(de)過渡族元素(Ti、V、Cr、W、Nb等(deng))與C、N、O、B等(deng)形成(cheng)的(de)化(hua)合物,或單(dan)一的(de)金(jin)屬及非金(jin)屬涂層(ceng),使零件(jian)表(biao)層(ceng)改變化(hua)學(xue)成(cheng)分,并(bing)在(zai)其表(biao)面(mian)形成(cheng)...